谷口 淳 タニグチ ジユン TANIGUCHI Jun 教授

基礎工学部 電子応用工学科

谷口研究室

教員プロフィール

連絡先 〒125-8585 東京都葛飾区新宿6-3-1
TEL : 03-5876-1717 (代表)
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出身大学 1994年 東京理科大学 基礎工学部 電子応用工学科 卒業
出身大学院 1999年 東京理科大学 基礎工学研究科 電子応用工学専攻 博士課程 修了
取得学位 東京理科大学 博士(工学) 課程
東京理科大学 修士(工学) 課程
研究経歴
研究職歴
性別
生年月
研究キーワード 電子ビーム露光技術,ナノインプリント技術
研究分野 マイクロ・ナノデバイス (ナノインプリント技術,三次元ナノ構造作製,電子ビーム露光技術)
研究課題 ダイヤモンドの電子ビーム援用化学加工
ナノインプリントリソグラフィーに関する研究
ダイヤモンドからの電子放出に関する研究
受賞
2009年11月19日
The 4th International Symposium on Atomic Technology において学生優秀ポスター賞 (The 4th International Symposium of Atomic Technology, Director, Center for Atomic and Molecular Technologies Graduate School of Engineering, Osaka University)
「High Aspect Metal Pattern Replication Technique Using Metal Oxide Release Layer」
2007年10月2日
Second International Symposium on Atomic Technology において学生優秀ポスター賞 (The 2nd International Symposium of Atomic Technology, Derector, Center for Atomic and Molecular Technologies Graduate School of Engineering, Osaka University)
「Fabrication of antireflection structure on glassy carbon surface using electron beam lithography and oxygen dry etching」
2004年4月12日
(財)東電記念科学技術研究所 研究助成 ((財)東電記念科学技術研究所)
「三次元ナノパターン転写技術」
2001年6月30日
安藤博記念学術奨励賞 ((財)安藤研究所)
学会活動
2012年4月1日~2016年3月31日
公益社団法人応用物理学会 ナノインプリント技術研究会
運営委員
2012年4月1日~2015年9月30日
日本学術振興会 荷電粒子ビームの工業への応用 第132委員会
幹事
2011年4月1日~2014年3月31日
社団法人 精密工学会
評議員
2006年4月1日~2007年3月31日
特許庁 平成18年度 特許出願技術動向調査 -ナノインプリント技術及び樹脂加工におけるサブミクロン成形加工技術ー 委員会
学会の顧問・助言委員等
2005年4月1日~2014年3月31日
Micro Nano Conference(応用物理学会系)
論文委員
学会活動を全件表示
客員教授

トピックス

谷口研究室では,ナノテクノロジーでのものづくりを行っております.携帯電話やパソコンに代表されるような高性能・多機能製品に必要なデバイス(LSI,表示部品,光学部品,反射防止フィルムなど)に応用できるものを作っております.作製方法は,微細な模様が作製できる電子ビーム技術,イオンビーム技術を用い,これを金型として樹脂等へ複製しております.この方法で,新しいデバイスを設計し,その量産性を確かめることができます.

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